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      • 進(jìn)口MRO工業(yè)品備件采購平臺

        400-168-2626

        新聞

        產(chǎn)品中心

        聯(lián)系方式
        地址:河北省秦皇島市海港區(qū)文化路街道海陽路159-1號博川大廈4層
        郵編:066000
        電話:400-168-2626
        傳真:0335-8062661
        E-mail:[email protected]
        網(wǎng)址:www.hqcool.com
        產(chǎn)品分類

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        AALBORG氣體質(zhì)量流量計

        產(chǎn)品特點:性價比高、響應(yīng)速度快、可靠性高,易于集成、環(huán)路保護(hù)、備總量計數(shù)器

        典型應(yīng)用:CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。

        設(shè)計特點:
        -剛性金屬結(jié)構(gòu)
        -流程范圍從0開始到10sccm直到0到1000slpm 
        -*大壓力500psig(34.5Bar)
        -泄漏率1*10-7氦氣
        -NIST系統(tǒng)標(biāo)定可追蹤的證明
        -可傾斜的LCD讀表
        -0-5Vdc或4-20mA信號輸出
        -電路保護(hù)
        -可用作便攜式的設(shè)備
        -0到100比例顯示
        -可配備流量計算機(jī)
        精度:±1.5%滿量程,包括59℉到77℉的氣體溫度(15℃到25℃)和5到60psia(0.4到4.1bar)的壓力。可選±1%滿量程(標(biāo)定精度),在給定的溫度與壓力值條件下。
        重復(fù)性:±0.5%滿量程


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